在服务“双碳”工作方面,批准发布空气中二氧化碳气体、乙烯中一氧化碳和二氧化碳混合气体等72项碳计量国家标准物质。碳计量标准物质用来校准常用的碳检测设备,如碳组分分析仪、红外气体分析仪等,确保仪器测量精度,也可用来标定现场碳监测设备,如环境空气质量自动监测站、工业废气排放监测仪等,确保现场数据真实有效。新批准发布的72项碳计量标准物质,79.2%由企业研制生产。
在服务精密制造产业发展方面,批准发布高纯氮、高纯氧等13项电子气体国家标准物质。在半导体器件制造过程中,高纯度电子气体标准物质可用于清洗、刻蚀、沉积等多个关键环节,确保晶圆的纯净度和性能。在集成电路生产过程中,高纯度电子气体标准物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥着重要作用,保障集成电路的稳定性和可靠性。新批准发布的13项电子气体国家标准物质中,93%的研制单位位于华东、华北地区,呈现出与产业集群协同发展的新趋势。
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